具体行政行政行为的合法性审查原则，可以从以下几个方面理解：首先，实施具体行政行为的主体是否符合法律法规，意思是，主体是否符合法律规定的实施行为主体，主体是否有法律规定的授权。其次，实施具体行政行为是否在法律规定的权限内，比如，只有公安机关才有逮捕的权利，其他主体虽然也是法律授权的主体，可是没有法律授予的权限。最后，实施具体行政行为的依据是否符合法律规定，这包括了依据的内容，依据的内涵和外延是否都完全符合。
行政诉讼法第5条规定：人民法院审理行政案件，对具体行政行为是否合法进行审查。与刑事诉讼和民事诉讼相比，具体行政行为合法性审查原则是行政诉讼最有特色的基本原则。
(一)具体行政行为合法性审查的范围
对此，可以从如下方面认识：
第一，从客体来看，人民法院只审查行政机关的具体行政行为，不审查行政机关的抽象行政行为和行政诉讼原告行为的合法性。根据行政诉讼法第11条和第12条有关行政诉讼受案范围的规定，对于受案范围之外的具体行政行为引起的争议，人民法院不能受理，当然也就不能审查。
第二，从内容来看，人民法院以审查具体行政行为的合法性为原则，以审查具体行政行为的合理性为例外。
人民法院审查具体行政行为合法性的具体内容包括：(1)行政机关是否享有作出具体行政行为的权限，是否超越法定的职责权限以及是否依法享有事务管辖权、级别管辖权和地域管辖权，上述任何一方面违法都构成无权限或者超越职权。(2)具体行政行为的证据是否确凿充分、事实是否清楚，具体行政行为的证据是否具有合法性、客观性和相关性。(3)具体行政行为适用法律依据是否正确。(4)具体行政行为程序是否合法。行政机关不得违反法定程序，行政机关遗漏程序步骤、颠倒顺序、超越时限以及违反法定行为方式的，所作出的具体行政行为违法。(5)具体行政行为的目的是否合法。行政机关不得借用合法的形式，实现非法的目的。否则，构成滥用职权，具体行政行为就会被撤销。总之，人民法院应当对具体行政行为的事实问题和法律问题、程序问题和实体问题进行全面的审查。
在法定例外情况下，人民法院也可以审查具体行政行为的合理性。行政诉讼法第54条第4项规定：行政处罚显失公正的，可以判决变更。
行政处罚法
第4条第1、2款规定：行政处罚遵循公正、公开的原则。设定和实施行政处罚必须以事实为根据，与违法行为的事实、性质、情节以及社会危害程度相当。据此，如果行政处罚的轻重与案件的事实和情节明显不相适应，人民法院可以判决变更。所谓“可以”是指人民法院有权判决变更，这要根据案件的具体情况而定。
行政诉讼以合法性审查为原则的特点是由司法权和行政权的关系所决定的。在我国，行政权和司法权都是由宪法和国家权力机关赋予的，受国家权力机关制约。行政权与司法权彼此独立，各有自己的活动领域。司法权对行政权的监督来自法律的明确授权，并且必须在法定范围内进行。因而，司法权对行政权的监督只能限于合法性。否则，国家职能分工的平衡状态将被打破。在行政诉讼中，人民法院应当依法行使行政审判权，对违法的具体行政行为予以撤销，对行政机关在法定权限内的活动予以尊重。这是保证行政机关依法行使自由裁量权，有效履行行政管理职能的必要前提。司法权不得干预行政权，影响行政权的正常运作，更不能代替行政权。
(二)具体行政行为合法性审查原则的意义
首先，具体行政行为合法性审查原则明确了行政机关与人民法院之间的制约关系。它表明，人民法院有权审查行政机关行使职权的行为。当然，人民法院介入行政管理的范围限于审查具体行政行为的合法性，既不能对行政机关进行全面干预，也不能代替行政机关进行行政管理，甚至作出具体行政行为。
其次，具体行政行为合法性审查原则具体化了公民、法人或者其他组织的行政诉讼权利，对诉讼当事人、人民法院等诉讼主体进行诉讼活动具有指导意义。公民、法人或者其他组织对具体行政行为不服时，有权向人民法院提起诉讼。同时，法院审理判决行政案件，必须按照合法性审查原则进行，对于合法的具体行政行为予以维持，对于违法的具体行政行为予以撤销或判令被告履行法定职责。被告在诉讼中对具体行政行为的合法性承担举证责任。