一般从来源、过程、结果三个方面验证其合法性。
第一，电子证据的来源要件审查。
电子证据的来源要件的重要性与书证、物证一样，没有来源的电子证据不具有证据能力，不得作为定案根据。实践中，电子证据的来源，应当重点审查有无调取证据通知书、扣押清单、提取笔录、勘验笔录等能够记载和反映其来源的文书。
第二，电子证据的过程要件的审查。
电子证据提取过程无损规则问题。由于电子数据易损坏、易篡改的特性，所以要求获取时不能对原文件作任意改动或损坏，这就是电子证据提取过程的无损性规则。完整性校验值是检验无损规则的重要方法。完整性校验值即哈希(Hash)函数，是将任意长度的输入数字串，映射成一个较短的定长的输出数字串，又称数字指纹。只要哈希值不变，就能够证明电子数据未经改变。实践中，侦查机关应当在第一时间计算完整性校验值，并在笔录中注明。
第三，电子证据结果要件的审查。
电子证据的结果要件的审查重点在于两个方面：一是电子证据提取笔录或电子证据检查笔录的审查，二是对存储介质的审查。
对电子证据概念的定义目前主要有以下几种：
概念1：网上证据即电子证据，也被称为计算机证据，是指在计算机或计算机系统运行过程中产生的以其记录的内容来证明案件事实的电磁记录物。
概念2：电子证据是指订立合同的交易主体通过网络传输确定各方权利义务以及实施合同款项支付、结算和货物交换等的数码信息。
概念3：电子证据是以通过计算机存储的材料和证据证明案件事实的一种手段，它最大的功能是存储数据，能综合、连续地反映与案件有关的资料数据，是一种介于物证与书证之间的独立证据。
概念4：电子证据是存储于磁性介质之中，以电子数据形式存在的诉讼证据。
概念5：电子证据是以数字的形式保存在计算机存储器或外部存储介质中、能够证明案件真实情况的数据或信息。
由于电子证据的研究在司法和计算机科学等领域还是一个新课题，因此对电子证据的概念一时难有定论。令人欣慰的是，目前的研究者虽然对电子证据的理解程度和角度有所不同，但是对电子证据的本质属性却达成了一定的共识，这就为进一步的合作研究与交流打下了基础。
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